IBM об иммерсионной литографии » Новости ПК » Компьютерные новости,
  Компьютерный портал Hardvision Digital Сделать домашней Добавить в Избранное Обновить Напишите нам!
На главную | Карта портала | Реклама на сайте | Сегодня Вторник, 30 ноября 2021
Новости компьютеров Новости софта Новости Интернет Архив новостей
Поиск

Популярные новости

 Читать еще новости
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»

Хочу на портале

Мы рассмотрим все Ваши предложения и пожелания!

 

Фотоальбомы, фоторамки, печать фотографий

Компьютерные новости » Новости ПК

IBM об иммерсионной литографии

Добавлено 11.08.2003 | Новости ПК | Просмотров 974 Обсудить на форуме!

На International Sematech Immersion Workshop IBM обнародовала детали исследования свойств фоторезистивных покрытий в условиях иммерсионных (проходящих при погружении в воду) технологических процессов. Из отчета следует, в частности, что фотолитографические резисты не меняют своих ключевых для литографии свойств, даже находясь под водой. В лабораториях Almaden Research Center IBM исследовались полупроводниковые пластины, покрытые обычным химически-активным фоторезистом, находившемся в воде в течение минуты. После погружения в воду фоторезисты высушивались и обрабатывались таким же обычным 193-нм сканером. Как утверждают исследователи, степень деградации полученных рисунков в сравнении с «сухими» незначительна.


Ученые были удивлены полученными результатами, так как до этого многие эксперты высказывали опасение, что для иммерсионной литографии придется разрабатывать новые типы фоторезистов. Конечно, фоторезист присоединял воду, но это почти не повлияло на контрастность полученной картины.


Напомним вкратце суть иммерсионной литографии: воздушная прослойка между фокусирующей линзой сканера и подложкой заполняется водой, имеющей другой коэффициент преломления, в результате чего размер светового пятна становится меньше. Перспективы применения иммерсионной литографии исследовали в MIT, показав, что технология может быть использована для обработки полупроводниковых пластин в процессах с нормами вплоть до 32 нм. К сожалению, результат IBM нельзя рассматривать слишком обнадеживающим: компания не имеет возможности проводить полностью иммерсионные процессы, в которых длительность времени, проводимого фоторезистом в воде, существенно больше. IBM ждет поставок иммерсионных сканеров от ASML, Canon и Nikon. Кроме того, для исследовательских целей достаточно утверждать о субъективно «слабом» влиянии воды на свойства фоторезиста, которое впоследствии может оказаться объективно значащим для промышленности.

« предыдущая новость | в архив новостей | следующая новость »


Комментарии посетителей


Ваш комментарий

Ваше имя
Осталось знаков:
Текст сообщения

* Можно ввести не более 300 символов!


Другие новости

Последние "Новости ПК"
ТОП 10 "Новости ПК"
Samsung участвовал в заговоре
14.10.2005 | Просмотров 7245
Компания PRINTRONIX предлагает услуги бесплатного обновления принтеров GEN 2
04.10.2005 | Просмотров 4112
Модули Kingston FBDIMM уже в Москве
06.07.2005 | Просмотров 4985
ATI RADEON X550 выходит на рынок
30.06.2005 | Просмотров 6136
Гигантский 80-дюймовый плазменный телевизор PS-80X5H
30.06.2005 | Просмотров 4896
Samsung Electronics завершила разработку первого твердотельного жесткого диска
30.06.2005 | Просмотров 8050
Сверхбыстрая память от Samsung
30.06.2005 | Просмотров 3985
Seagate увеличила объем жестких дисков семейства Barracuda 7200 до 500 ГБ
29.06.2005 | Просмотров 3724
AMD Turion™ 64 Mobile меняет представления о возможностях бизнеса
29.06.2005 | Просмотров 3688
AMD выпускает самый мощный процессор в мире для компьютерных игр - AMD Athlon™ 64 FX-57
29.06.2005 | Просмотров 4005
Колонки CREATIVE I-TRIGUE & VIVID наполняют цветом линию аудио устройств
27.06.2005 | Просмотров 4852
ASUSTeK Computer Inc. представила технологию GameLiveShow
21.06.2005 | Просмотров 3718
Жесткие диски Seagate Technology стали вместительнее
21.06.2005 | Просмотров 3637
Sony Playstation и порно: вместе горячее
20.06.2005 | Просмотров 4742
SD-ультиматум от Kingston
20.06.2005 | Просмотров 3883
 
Новая системная плата для Xeon-ов - Rioworks DN800 Express
16.09.2004 | Просмотров 33491
Philips и Visa выпустят бесконтактные кредитные карты
09.06.2003 | Просмотров 21765
"Скоростная" версия Epson Stylus Pro 4000
08.04.2005 | Просмотров 9636
Thanko 5D1 - Наушники с 6 динамиками
09.10.2004 | Просмотров 9549
AMD продемонстрировала свой первый двухъядерный процессор
11.03.2005 | Просмотров 9450
ЖДК монитор Hercules Prophetview LCD
30.11.2002 | Просмотров 9299
Недорогой жесткий диск Cornice размером 1 дюйм
27.03.2003 | Просмотров 9272
VIA & SiS: финансовый отчет за март
03.04.2002 | Просмотров 9185
Видеокарта ATI Radeon 8500 с 128 Мб памяти
06.02.2002 | Просмотров 8909
Конкурент плазменных панелей
20.06.2004 | Просмотров 8294
Samsung Electronics завершила разработку первого твердотельного жесткого диска
30.06.2005 | Просмотров 8050
USB-корпус и видеоплеер от Vernco
31.01.2004 | Просмотров 7832
Casio завалит рынок недорогими OLED-дисплеями
06.12.2003 | Просмотров 7386
Samsung участвовал в заговоре
14.10.2005 | Просмотров 7245
Новый DVD+RW привод от TEAC - DV-W58E
25.11.2003 | Просмотров 7002

Последние новости

 Читать еще новости
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»

Последние новости

 Читать еще новости
»
»
»
»
»
»
»
»
»
»

Рассылка
Файлы
Новости
Статьи


Авторские права HardVision Digital © 2001-2021 | Дизайн и программирование by {digit}
При использовании материалов сайта, ссылка на источник обязательна.
Ведется регулярная проверка ворованного контента в Интернете алгоритмом Copyscape.